В июне 2026 года в технологическом секторе произошло событие, которое может значительно изменить ландшафт производства микроэлектроники. Китайский стартап Prinano сообщил об успешном выпуске 8-дюймовых кремниевых пластин с фотонными чипами, используя принципиально новый подход. Главная особенность этого достижения заключается в полном отказе от традиционной литографии в глубоком ультрафиолете. Ранее для этого процесса требовалось крайне дорогое и дефицитное оборудование, которое поставляет преимущественно голландская компания ASML.
Для понимания значимости этого шага важно осознать, как устроено современное производство полупроводников. Традиционные методы базируются на оптической литографии, где ультрафиолетовый свет проецирует сложный микроскопический рисунок на поверхность пластины. Это крайне наукоемкий процесс, требующий сложнейших оптических систем. Prinano вместо привычного проецирования света применила технологию вакуумной наноимпринтной литографии, которая получила название PL-AS (Precision Lithography by Air-cushion System — прецизионная литография с использованием системы «воздушной подушки»). Фактически, этот процесс напоминает физическое штампование: на мастер-форме создается эталонный узор, который затем с высокой точностью переносится на обрабатываемую поверхность с помощью специальной воздушной прослойки, исключающей повреждения.
Читайте также
Желание «вернуться к истокам» или очередная сделка: почему Дуров переименовал TON
Такой подход открывает новые возможности для выпуска фотонных чипов. Эти устройства используют в волоконно-оптических сетях, оптических сенсорах и навигационных системах для беспилотного транспорта. Они имеют особую структуру, состоящую из повторяющихся наноразмерных волноводов и решеток. Использование системы PL-AS позволяет компании обойтись без импорта сканеров, на которые наложены строгие экспортные ограничения. К тому же, это решение снижает производственные затраты примерно в десять раз по сравнению с классическими DUV-процессами.
Несмотря на очевидные преимущества, переход на подобные методы в промышленном масштабе требует решения серьезных инженерных задач. Главная из них — износ мастер-формы при прямом контакте с пластиной. Когда на производстве выпускают тысячи изделий, любая порча штампа приводит к браку, поэтому к прочности материалов предъявляют жесткие требования. Кроме того, стартапу еще предстоит доказать, что их технология может работать так же быстро, как современные промышленные сканеры.
На текущий момент успех Prinano следует рассматривать как демонстрацию жизнеспособности альтернативного пути, который может оказаться крайне востребованным в специализированных нишах электроники. Даже если данная технология не заменит классическую литографию в производстве наиболее сложных процессоров для смартфонов или искусственного интеллекта, она создает независимую платформу для развития фотоники. Это дает Китаю возможность самостоятельно закрывать внутренние потребности в оптических компонентах и постепенно снижать зависимость от глобальных монополистов.





